一、電子行業(yè)潔凈室特點(diǎn)
(1)溫濕度要求精度高。對(duì)于電子產(chǎn)品而言，其生產(chǎn)制造工藝對(duì)溫度以及濕度等環(huán)境因素的變化非常的敏感，在潔凈室的空氣參數(shù)應(yīng)當(dāng)按照規(guī)定進(jìn)行嚴(yán)格控制。
(2)換氣次數(shù)以及新風(fēng)量大。在生產(chǎn)和制造電子產(chǎn)品時(shí)，通常會(huì)用到很多的化學(xué)物品，而且會(huì)產(chǎn)生非常多的廢氣，應(yīng)當(dāng)從室內(nèi)排出。實(shí)踐中，為了能夠有效確保室內(nèi)正壓以及衛(wèi)生條件達(dá)標(biāo)，應(yīng)當(dāng)大量補(bǔ)充新風(fēng)。
(3)空調(diào)冷負(fù)荷大而且濕負(fù)荷小，所以熱濕比近似無(wú)窮大。在電子行業(yè)領(lǐng)域，潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)熱量較大，工作人員通常會(huì)穿著密封的防塵服。工藝生產(chǎn)環(huán)境下，為了能夠有效減少發(fā)生靜電現(xiàn)象，應(yīng)避免空氣過(guò)于干燥。由此設(shè)計(jì)過(guò)程中空調(diào)系統(tǒng)在處理室內(nèi)回風(fēng)時(shí)應(yīng)該盡可能避免是減濕過(guò)程。
二、新風(fēng)量的確定
(1)人員衛(wèi)生所需的新鮮空氣量
潔凈室內(nèi)的工作人員吸入氧氣呼出二氧化碳。在此過(guò)程中，若無(wú)良好的新風(fēng)環(huán)境，則必然會(huì)導(dǎo)致工作人員因缺氧而頭暈、煩燥，不利于工作和安全。所以空調(diào)凈化系統(tǒng)中滿足人員衛(wèi)生要求的新鮮空氣量不小于40m3/(h人)。
(2)排風(fēng)量
電子潔凈廠房一般都伴有工藝需求的排風(fēng)，為了平衡這部分排至室外的空氣量，凈化系統(tǒng)需要補(bǔ)償相應(yīng)的新風(fēng)量。
(3)維持正壓所需新風(fēng)量
為防止室外或相鄰的其他用途房間的空氣滲入空調(diào)凈化車間，干擾其潔凈度或溫、濕度，為了保證潔凈室一定正壓要求的空氣量將由室外新風(fēng)來(lái)補(bǔ)充，這部分新風(fēng)量計(jì)算主要有縫隙法及換氣次數(shù)法。
(4)滿足總風(fēng)量一定比例的新風(fēng)量
根據(jù)實(shí)際項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，考慮到潔凈空調(diào)系統(tǒng)中空調(diào)機(jī)組和送風(fēng)管道內(nèi)正壓較高，送風(fēng)管由于安裝施工原因，不可避免的會(huì)有或多或少的漏風(fēng)率，為了安全起見(jiàn)，特別是在醫(yī)藥等行業(yè)，新風(fēng)量的比例應(yīng)滿足非單向流潔凈室總風(fēng)量的10%~30%，單向流潔凈室總風(fēng)量的2%~4%。這時(shí)候如果潔凈室人員少，工藝排風(fēng)少，正壓也足夠，按比例計(jì)算的新風(fēng)量大于系統(tǒng)的需求時(shí)，就應(yīng)該增加潔凈空調(diào)的排風(fēng)量來(lái)作為應(yīng)對(duì)措施。
(5)潔凈空調(diào)系統(tǒng)中新風(fēng)量的確定
潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取以下三項(xiàng)中的最大值：
a.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和；
b.保障供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40 m3；
c.滿足總風(fēng)量一定比例的新風(fēng)量。
三、新風(fēng)凈化及熱濕處理
對(duì)于面積大且潔凈度(百級(jí)或千級(jí))要求較高的電子工業(yè)廠房來(lái)說(shuō)，如果采用經(jīng)典的一次回風(fēng)空氣處理機(jī)組的形式，該系統(tǒng)風(fēng)管系統(tǒng)占用的空間，費(fèi)用較大，同時(shí)還要占用非常大的空調(diào)機(jī)房面積，往往工藝廠房無(wú)法滿足要求。在電子潔凈廠房中，大部分房間的室內(nèi)產(chǎn)濕量很小，而設(shè)備發(fā)熱量很大，室內(nèi)空氣熱濕比無(wú)窮大，在焓濕圖中為一條豎直的線；因而從投資、管理、節(jié)能等方面考慮，建議采用新風(fēng)集中處理與干表冷加風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元相組合的方式。
新風(fēng)機(jī)組空氣處理過(guò)程：新風(fēng)經(jīng)過(guò)初效過(guò)濾后進(jìn)入表冷盤(pán)管，冷盤(pán)管降溫除濕將新風(fēng)處理到潔凈室露點(diǎn)溫度后進(jìn)入加熱盤(pán)管，然后進(jìn)入二次加熱盤(pán)管和加濕段，保證潔凈房空氣溫濕度恒定在設(shè)計(jì)要求范圍內(nèi)，最后由風(fēng)機(jī)將處理的新風(fēng)送到中效和高效送風(fēng)段，經(jīng)過(guò)風(fēng)管將空氣送到潔凈室的天花頂?shù)撵o壓箱中，和潔凈室的回風(fēng)混合，通過(guò)風(fēng)機(jī)過(guò)濾段單元送到潔凈室內(nèi)。
在冬季室外氣溫較低的北方地區(qū)新風(fēng)往往要預(yù)熱，不然與一次回風(fēng)直接混合的時(shí)候很有可能產(chǎn)生冷凝水：潔凈車間一般部有濕度要求，冬季處理過(guò)程往往需要加濕空氣，因此增大了加濕負(fù)荷。夏季新風(fēng)含濕量高，溫度也高，與回風(fēng)直接混合后，有可能需要多級(jí)多排的表冷器來(lái)處理，大大加大了空調(diào)機(jī)組表冷器負(fù)擔(dān)。然而新風(fēng)集中處理系統(tǒng)，減少了大量循環(huán)風(fēng)的輸送能耗，降低了空調(diào)箱的風(fēng)機(jī)壓頭，節(jié)省了空調(diào)房間面積，避免了能源的浪費(fèi)。新風(fēng)作為潔凈室控制的重要污染源，集中預(yù)處理可以強(qiáng)化新風(fēng)的過(guò)濾和便于管理，為潔凈室運(yùn)行提供更安全的保障。
采用新風(fēng)集中處理方式中，新風(fēng)處理到室內(nèi)送風(fēng)露點(diǎn)，以滿足潔凈室的濕度要求。處理后新風(fēng)通過(guò)風(fēng)管送至吊頂靜壓箱內(nèi)。這樣使?jié)崈艨照{(diào)系統(tǒng)的濕度和溫度分別由新風(fēng)處理機(jī)組和干表冷盤(pán)管來(lái)負(fù)責(zé)，使溫度和濕度控制具有獨(dú)立性及可操作性，尤其是在潔凈室內(nèi)新風(fēng)量變化時(shí)其優(yōu)越性體現(xiàn)得更為明顯。
四、新風(fēng)節(jié)能運(yùn)行控制方案
(1)新風(fēng)機(jī)組采用變頻風(fēng)機(jī)，由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來(lái)控制變頻器。在接入新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)管.上均設(shè)置電動(dòng)調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來(lái)調(diào)節(jié)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化，電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)新風(fēng)機(jī)組的風(fēng)機(jī)頻率，來(lái)控制新風(fēng)機(jī)組的總送風(fēng)量。
(2)控制新風(fēng)機(jī)組送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，使其與潔凈房間的送風(fēng)露點(diǎn)相同，這樣就可以保證凈化車間的濕度要求。根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來(lái)調(diào)節(jié)加濕器的電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動(dòng)二通閥的開(kāi)度：露點(diǎn)溫度“DPT”由檢查室內(nèi)濕度敏感元件“HE”連續(xù)整定。
(3)凈化生產(chǎn)車間的溫度是由干表冷盤(pán)管保證的，經(jīng)新風(fēng)處理機(jī)處理后的空氣狀態(tài)為潔凈房間的送風(fēng)露點(diǎn)，新回風(fēng)混合點(diǎn)一定在該潔凈房間的熱濕比線上，根據(jù)室內(nèi)溫度來(lái)調(diào)節(jié)干盤(pán)管上的電動(dòng)二通閥的開(kāi)度，控制加熱和制冷量，實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫度控制。
一般情況下，在電子潔凈廠房中，大部分潔凈室溫濕度要求基本都相同而且也允許一定范圍的波動(dòng)，這些車間都可以使用新風(fēng)集中處理系統(tǒng)。但在某些車間具有很大的室內(nèi)產(chǎn)濕量，其熱濕比線并不是一條豎直的直線，采用新風(fēng)集中處理系統(tǒng)就無(wú)法滿足要求，應(yīng)該根據(jù)實(shí)際需求考慮其它合理空氣處理方式。
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